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苏州建成6英寸微纳机电制造中试线

  • 发布时间:2014-10-20 05:59:49  来源:经济日报  作者:佚名  责任编辑:罗伯特

  本报讯 记者李佳霖报道:日前中国—新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户。这意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式运营,该中试线填补了中国MEMS产业创新链空白。

  当前,我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期。据了解,苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线由苏州纳米科技发展有限公司建设,该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目。苏州素以集成电路产业闻名,一直积极推动中试线建设的苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军告诉记者:“我国中小MEMS企业发展面临很多困难,其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产,规模代工厂门槛较高,高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够,产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈,而中试平台(线)不仅能够支持中小公司创新,还可以促进他们规模化发展。”

  苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线采用市场化、全开放的运作模式,主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品,产品样品测试结果良好,基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

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