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苏州建成6英寸MEMS中试线填补空白

  • 发布时间:2014-10-20 01:30:40  来源:科技日报  作者:佚名  责任编辑:罗伯特

  科技日报讯 (记者张晔)9月底,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户,这意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式运营。

  据了解,苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线,由苏州纳米科技发展有限公司建设,超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米,其中超净工艺场地5200平方米,该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目,也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

  由于我国MEMS产业的创新链不完善,中小MEMS企业发展面临很多困难,尤其是产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。据了解,苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线采用市场化、全开放的运作模式,主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品,基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

  “我们的中试线,与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同,主要开展中试和小批量生产业务,前端与产品样品衔接,后端与规模代工厂衔接,是一个完全工业级别的中试线。”苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线运营总监游家杰告诉记者。苏州市集成电路行业协会秘书长张希军一直积极推动中试线建设,他认为中试线不仅是中小企业的创新平台,更弥补了中国MEMS产业创新链的空白。

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