国产28纳米刻蚀机通过工艺“大考”
- 发布时间：2014-09-10 07:31:52 来源：南方日报 责任编辑：罗伯特
国产28纳米刻蚀机通过工艺“大考”
南方日报讯 （驻京记者/刘晓静）据北京市政府新闻办9日消息，目前，北方微电子公司自主研发的12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，已通过工艺验证，并获得客户订单。此项技术的突破令我国集成电路高端装备技术与国际水平的差距从2003年的“20年差距”缩到“3年”，标志我国集成电路高端装备加快了追赶国际水平的脚步。
据了解，在北方微电子公司突破28纳米刻蚀技术前，国际上仅美国和日本各有一家企业能够提供满足28纳米生产线的成熟设备。
长期以来，高端刻蚀设备一直是制约我国集成电路产业发展的瓶颈，因此，北方微电子将28纳米刻蚀设备推向市场，标志着我国在高端集成电路装备领域，第一次实现与主流生产线的需求同步。
集成电路是一种微型电子器件，又称芯片，是工业生产的“心脏”，其在计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子等几大领域起着关键作用，是全球主要国家或地区抢占的战略制高点，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。
然而，据工信部和海关总署数据显示，我国十余年集成电路进口额超过石油，长期居各类进口产品之首。国务院发展研究中心此前发布的《二十国集团国家创新竞争力黄皮书》同样指出，中国关键核心技术对外依赖度高，80%芯片都靠进口。我国一年制造11.8亿部手机、3.5亿台计算机、1.3亿台彩电，都是世界第一，但嵌在其中的芯片专利费用却让中国企业沦为国际厂商的打工者。
在此背景下，为加快集成电路产业发展，国务院于今年6月正式发布《国家集成电路产业发展推进纲要》，纲要提出到2015年集成电路产业销售收入超过3500亿元。2020年基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。
此外，据悉，国家集成电路产业投资基金也将于近期挂牌成立，该基金首批规模将达到1200亿元，基金由工信部、财政部牵头发起，财政部与其他投资主体共同出资组建，主要投资于芯片制造等重点产业。
对此，中信证券发布研报表示，随着《国家集成电路产业发展推进纲要》的出台，我国集成电路行业相对分散且规模较小的业态将改变，国家引导、国有平台整合、国家补贴扶持将成为行业主轴，集成电路行业由于国资的加入将有望形成若干庞大平台型企业，而政策的补贴与扶持也将进一步驱动行业增速提升，并加速产业的转移进程，集成电路行业有望进入长期加速增长通道。
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